光刻机冷水机-光刻机冷却设备-光刻机光刻机冷却机

光刻机用冷水机-光刻机降温装置机组 光刻机又名：掩模对准机，系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻 一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。 光刻机在无尘室室内运行期间，要长时间运行期间会内部产生大量余热，光刻机冷水机-光刻机冷却设备-光刻机光刻机冷却机这部分热量在运行期间影响产品工艺，冷水机作为光刻机辅机，供应冷却水降温。保证长期稳定运行。 冷却水供应温度22度，供应光刻机内部降温散热。 冷水机的性能形式，大致可分为二种 风冷式冷水机-特点 

1.免装冷却塔，安装容易，移动方便，适合于水源缺乏免装水塔场合。

 2.低噪音风机马达，良好冷却冷凝效果，稳定节流机构，优异的防锈处理。

 3.采用欧美进口高性能压缩机，高EER值，噪音低，运行稳。 

水冷式冷水机-特点 

1.人体工学面板，全自动化控制，配备精密电温控制器，可长期平稳运行。 

2.采用高效传热换热器，冷量损失少，易回油，传热管不致发生冻裂优点。 

3.采用日美进口高性能压缩机，高EER值，噪声低，运行稳。

 一般光刻机配备风冷式冷水机组，光刻机冷水机-光刻机冷却设备-光刻机光刻机冷却机冷水机设备要考虑使用水质，使用温度，保证水体纯净度，内部管件，阀门要做304不锈钢材质，预留排水口，加水口定期更换水源。